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本书围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术，集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法，并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。全书注重推进微热学方法在若干高新技术领域中的独特应用。

本书可供热科学、物理、电子、机械、器件、材料、化工、生物技术与医学工程等领域的研究人员、工程师以及大专院校有关专业师生阅读参考。

序

前言

第1章　绪论

　1.1　导言

　1.2　常规热学微系统技术的研究范畴

　1.3　微/纳尺度生物热学技术的研究范畴

　1.4　热学微系统技术的国内外研究态势

　1.5　微尺度生物热学研究的国内外态势

　1.6　热学微系统技术的发展前景展望

　1.7　生物热学微系统技术的发展前景展望

　1.8　小结

　参考文献

第2章　微/纳米器件的热学与流体加工技术

　2.1　导言

　2.2　MEMS加工技术发展概况

　2.3 自上而下及自下而上的微/纳米加工方式

　2.4　MEMS热加工技术

　2.5　传统硅材料微加工技术中的热学问题

　2.6　微尺度光刻技术中的热学控制问题

　2.7　MEMS粉末沉积热加工技术

　2.8　微尺度热胶接技术

　2.9　MEMS加工中的热压塑技术

　2.10　喷射微液滴的微尺度加工

　2.11　基于微流体的加工方法

　2.12　气泡微加工方法

　2.13　微细电火花加工技术

　2.14　加工微器件的软刻技术

　2.15　MEMS封装技术中的热应用

　2.16　MEMS热加工技术的发展趋势

　2.17　低温加工技术

　2.18　光学精密器件低温加工

　2.19　生物工程低温加工

　2.20　化学工程低温加工

　2.21　机械工程低温加工

　2.22　电子工程低温加工

　2.23　冷冻干燥型微加工技术

　2.24　低温微加工技术前景

　2.25　生物微加工技术

　参考文献

第3章　纳米热流体技术

　3.1　导言

　3.2　纳米流体技术概念

　3.3　基于纳米流体的热管

　3.4 以纳米液滴为添加物的纳米流体

　3.5　纳米金属流体

　3.6　基于纳米颗粒控制纳米流体

　3.7　纳米流体研究展望

　参考文献

第4章　微纳米流体器件技术

　4.1　导言

　4.2　微/纳米流体阀门概况

　4.3　控制微/纳米流体的冰阀技术

　4.4　冰阀器件的执行过程及影响因素

　4.5　基于固液相变的蠕动泵

　4.6　湿性电路中电信号的控制

　4.7　微流体测量器件的制作

　4.8　测量微流量的热阻式传感器

　4.9　监测微流体参数的电阻抗法

　4.10　经皮微针阵列式药物输运方法

　参考文献

第5章　微/纳米操作技术

　5.1　导言

　5.2　微/纳米操作技术概念

　5.3　微/纳米操作的特点

　5.4　基于机械效应的微操作技术

　5.5　基于水力学效应的微操作技术

　5.6　基于单一电学效应控制的纳米镊

　……

第6章　光网络开关中的微热控制技术

第7章　芯片冷却与热管理中和微系统技术

第8章　基于微系统与纳米技术的功能服

第9章　微能源系统技术

第10章　低温生物学中的微系统技术

第11章　肿瘤纳米医学与微创手术中的热学方法

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书籍介绍

《热学微系统技术》围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术，集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法，并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。《热学微系统技术》注重推进微热学方法在若干高新技术领域中的独特应用。热学微系统技术是热科学与微/纳米技术、电子、机械、生物医学及信息技术等现代自然科学相交叉和融合的结果。这一主题近年来的发展十分迅速，已成为多个学科领域内研究人员极为关注的新生长点。